真空系統用泵的選擇方法？

真空系統是由真空泵、PLC程序控制系統、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套

真空系統。目前，該系統廣泛應用于電子半導體業(yè)、光電背光模組、機械加工等行業(yè)。

例如有一系統用羅茨真空泵機組抽氣，要求在1 mbar入口壓力時有600升/秒的抽速，并長期工作，問

應選擇多大抽速的前級泵。

先假定用30升/秒的前級泵時，壓縮比K=600：30=20得出K=20時zui大排出壓力為30 mbar。

由此得出，當選用30升/秒前級泵時，在入口壓力低于1.5 mbar以下工作是可行的，但高于1.5 mbar

入口壓力工作時就選用大一些前級泵了。該例中，工作真空度1 mbar低于1.5 mbar，所以30升/秒的

前級泵可以滿足上述真空系統的抽氣要求。

另外應當考慮的是，對預抽時間的要求問題，如果正常工作時間遠比預抽時間長，可選較小的前級泵;

假如真空室較大，而且要求很快預抽，就要用較大的前級泵，有時為了更好發(fā)揮設備的效率，機組裝

有較大的預抽泵，在正常工作后停掉它，而用較小的前級泵維持，這樣做是為了節(jié)約功率。

對羅茨真空泵機組的極限壓力的要求，也是選擇前級泵的必須考慮的，對極限真空度要求較高(達

1X10-3Pa～1X10-2 Pa壓力)一般選用雙級旋片式油封機械泵或雙級滑閥機械泵作為前級泵。極限真空

度要求在(1X10-2 Pa～1X10-1Pa)之間可選用單級油封機械泵作為前級泵，極限真空度要求在133～

1333Pa之間可選用往復式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級泵。

當選用往復式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級泵時，前級泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2-

1/4，不能太大，否則將使壓縮比過大，造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作。

選用前級泵時還必須考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質，是否含有可凝性氣體，是大量的還是微量

的。如果含有腐蝕性氣體，就不能選用油封機械泵，油封機械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的

氣體，否則將會使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時，也必須采用帶有氣鎮(zhèn)裝置的

油封機械泵作為前級泵。

為了獲得在低入口壓力(1~100pa)時的高的抽氣速率，可用一臺羅茨真空泵作為另一臺羅茨真空泵的

前級泵組成的三級或四級機組，此時羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間。